Muallif: Irisboyev, Farkhod Boymirzayevich; Mukhtorov, Doston Naim ugli

Annotatsiya: Fotolitografiya usuli allaqachon katta aniqlik bilan berilgan YaO' tuzilmalarida topologiyaga ega bo'lgan shakl chiziladi va undan keyin texnologik qayta ishlanadi. Fotorezistda (yorug'likka sezgir polimer qatlamlari) maxsus fotografik jarayon. Fotorezistlar. FRlar yorug'likka sezgir materiallar bo'lib, ular yorug'lik ta'sirida eriydi, o'zgarish hodisasi asosida qayta ishlanadi. Püskürtme usulida FR siqilgan havo namuna yuzasiga tarqaladi. Bu usul qalin FR olish imkonini beradi.

Kalit so'zlar: Fotolitografiya usuli, yorug'lik ta'siri, Fotorezistlar, fotorezistlarni kuchaytirish, foto shablon yordamida chizish, shakl nurlari, keraksiz joylarni eroziya qilish, ortiqcha FRni olib tashlash.

Jurnaldagi sahifalar: 107 - 110